Das jüngste, erst seit 1988 existierende Schutzrecht wurde geschaffen zum Schutz von neuentwickelten Halbleiterstrukturen.
Das Halbleiterschutzgesetz schafft die Möglichkeit, die Oberflächengestaltung von Mikrochips, das sogenannte maskwork, zu schützen. Ein erteilter Halbleiterschutz gewährt ein Nachbildungs- und Verwertungsverbot. Im Falle unerlaubter Nutzung kann der Inhaber Unterlassungs- und/oder Schadenersatzansprüche geltend machen.
Geschützt werden "dreidimensionale Strukturen von mikrolektronischen Halbleitererzeugnissen (Topographien), wenn und soweit sie Eigenart aufweisen". Das ist in der Regel immer dann der Fall, wenn es sich um eigene Leistungen handelt, die nicht alltägliches Ergebnis geistiger Arbeit sind.